发明名称 Process for refining nitrogen trifluoride gas using alkali earth metal exchanged and impregnated zeolite 5A
摘要
申请公布号 KR100577959(B1) 申请公布日期 2006.05.10
申请号 KR20040053047 申请日期 2004.07.08
申请人 发明人
分类号 B01D53/02 主分类号 B01D53/02
代理机构 代理人
主权项
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