利用负压槽的低气压空气轴承滑块的系统和方法

摘要

本发明披露了一种利用负压槽的低气压空气轴承滑块的系统和方法。在一个实施例中，一个凹槽从滑块的前沿延伸、分开并终止在滑块尾沿处的两个位置。在一个实施例中，在靠近滑块尾沿的滑块压力垫中布置有一个凹槽。

主权项

1.一种滑块，包括：滑块主体；在第一结构上的第一和第二导轨，所述第一结构距所述第一和第二导轨一第一深度，所述第一和第二导轨在延滑块主体的纵向上延伸；在所述第一结构中以一个凹槽深度形成的第一凹槽段，所述凹槽深度大于所述第一深度；在所述第一结构中以所述凹槽深度形成的第二和第三凹槽段，其中：所述第一凹槽段从所述滑块主体的前沿开始并在所述第一和第二导轨之间延伸；和所述第二和第三凹槽段从所述第一凹槽段延伸至所述滑块主体的尾沿。