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发明名称 CONFOCAL 3D INSPECTION SYSTEM AND PROCESS
摘要
申请公布号 EP1417473(A4) 申请公布日期 2006.05.10
申请号 EP20020750076 申请日期 2002.07.16
申请人 AUGUST TECHNOLOGY CORPORATION 发明人 WATKINS, CORY;VAUGHNN, DAVID;BLAIR, ALAN
分类号 G01N21/00;G01N21/95;G01N21/956;G02B13/22;G02B21/00;G02B21/16;G03B15/00;G06K9/62;H01L21/60;H01L21/66;H04N7/18;H05K3/00 主分类号 G01N21/00
代理机构 代理人
主权项
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