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"SISTEMA E MéTODO DE FORNECIMENTO DE DISPOSITIVOS MEMS COM REVESTIMENTO ANTI-FRICçãO ESTáTICA". Em várias modalidades da invenção, um revestimento anti-fricção estática 102, 106 é formado em pelo menos uma superfície de uma cavidade interna de um dispositivo MEMS 80. As modalidades específicas fornecem um revestimento anti-fricção estática 102, 106 em uma ou mais superfícies de espelho de um dispositivo de modulação de luz interferométrico (iMoD). Em outras modalidades, um dispositivo de modulação de luz interferométrico é encapsulado dentro de um pacote e o revestimento antifricção estática 102, 106 é aplicado depois do pacote ser fabricado. Em uma modalidade, um ou mais orifícios são definidos no pacote, por exemplo, em uma vedação, um substrato ou uma placa de apoio e o material de revestimento anti-fricção estática é suprido para o interior do pacote através dos orifícios. Em uma modalidade, o material de revestimento anti-fricção estática inclui uma monocamada auto-alinhada (ou auto-montada). Em outra modalidade, o revestimento de camada anti-fricção estática pode ser incorporado em um processo de liberação onde uma camada de sacrifício de um dispositivo de modulação de luz interferométrico é gravada com a utilização de um gás. |
