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经营范围
发明名称
CLEANING SOLUTION AND METHOD FOR CLEANING IN SEMICONDUCTOR DEVICE USING THE SAME
摘要
申请公布号
KR20060039314(A)
申请公布日期
2006.05.08
申请号
KR20040088452
申请日期
2004.11.02
申请人
HYNIX SEMICONDUCTOR INC.
发明人
OH, KEE JOON
分类号
H01L21/304
主分类号
H01L21/304
代理机构
代理人
主权项
地址
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