发明名称 CLEANING SOLUTION AND METHOD FOR CLEANING IN SEMICONDUCTOR DEVICE USING THE SAME
摘要
申请公布号 KR20060039314(A) 申请公布日期 2006.05.08
申请号 KR20040088452 申请日期 2004.11.02
申请人 HYNIX SEMICONDUCTOR INC. 发明人 OH, KEE JOON
分类号 H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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