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经营范围
发明名称
MULTI-CHANNEL GRATING INTERFERENCE ALIGNMENT SENSOR
摘要
申请公布号
KR100577107(B1)
申请公布日期
2006.05.08
申请号
KR20000043932
申请日期
2000.07.29
申请人
发明人
分类号
G01B11/00;G03F9/00;H01L21/027
主分类号
G01B11/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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