发明名称 MEHTOD FOR DESIGNING A MANUFACTURING PROCESS, THE METHOD FOR PROVIDING A MANUFACTURING PROCESS DESIGN AND COMPUTER-AIDED DESIGN SYSTEM
摘要
申请公布号 KR100576766(B1) 申请公布日期 2006.05.08
申请号 KR20040061451 申请日期 2004.08.04
申请人 发明人
分类号 H01L21/02;G06F17/50 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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