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经营范围
发明名称
PURGE BACK SYSTEM OF GAS LINE FOR CLEAN ROOM
摘要
申请公布号
KR20060038750(A)
申请公布日期
2006.05.04
申请号
KR20040087881
申请日期
2004.11.01
申请人
DONGBU ELECTRONICS CO., LTD.
发明人
SHIM, MOON HAN
分类号
H01L21/02
主分类号
H01L21/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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