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发明名称
Verfahren zur Kompensierung von Ätzratenungleichförmigkeiten mittels Ionenimplantation
摘要
申请公布号
DE10329389(B4)
申请公布日期
2006.05.04
申请号
DE20031029389
申请日期
2003.06.30
申请人
ADVANCED MICRO DEVICES, INC.
发明人
SCHALLER, MATTHIAS;SCHWAN, CHRISTOPH;HARTIG, CARSTEN
分类号
H01L21/3065;H01L21/265;H01L21/266;H01L21/3213;H01L21/66
主分类号
H01L21/3065
代理机构
代理人
主权项
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