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发明名称 SILICON-ON-NOTHING FABRICATION PROCESS
摘要
申请公布号 KR100576593(B1) 申请公布日期 2006.05.04
申请号 KR20040035489 申请日期 2004.05.19
申请人 发明人
分类号 H01L21/76;H01L21/336;H01L21/762;H01L21/764;H01L21/84;H01L27/12;H01L29/786 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
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