| 摘要 |
<p>Die Erfindung betrifft eine Treibmittel-Vakuumpumpe der Mikrosystemtechnik, aufweisend eine Verdampferkammer und eine Pumpkammer, die durch eine Düsenanordnung getrennt sind. Die Treibmittel-Vakuumpumpe wird durch eine planare Anordnung von wenigstens einer vertikal in die Tiefe verlaufenden Düse zwischen zwei, insbesondere parallelen Platten, wobei die Platten die Verdampferkammer und die Pumpkammer verschließen, und durch eine Öffnung in der Pumpkammer, vorzugsweise oberhalb der Düsenanordnung, zum Ansaugen eines zu pumpenden Mediums und durch eine Öffnung zum Austreiben eines, vorzugsweise komprimierten, Gases unterhalb der Düsenanordnung weitergebildet.</p> |
