发明名称 METHOD FOR FABRICATION OF SEMICONDUCTOR DEVICE WITH INCREASED OVERLAY MARGIN
摘要
申请公布号 KR20060038595(A) 申请公布日期 2006.05.04
申请号 KR20040087687 申请日期 2004.10.30
申请人 HYNIX SEMICONDUCTOR INC. 发明人 PARK, HAE CHAN;YOU, BYOUNG HWA
分类号 H01L21/28 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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