发明名称 有机薄膜晶体管及其制作方法
摘要 提供了一种有机薄膜晶体管,包含有机衬底、栅电极、栅绝缘膜、有机半导体膜、源电极和漏电极,且在有机薄膜晶体管中,与栅绝缘膜接触的栅电极平均表面粗糙度Ra为0.1-15nm。这种有机薄膜晶体管,即使其用作栅电极的导体膜制作在形状不固定、平整度比硅晶片差的衬底上,如玻璃环氧树脂衬底上,也能具有稳定的性能特性。
申请公布号 CN1768437A 申请公布日期 2006.05.03
申请号 CN200480008727.9 申请日期 2004.03.31
申请人 佳能株式会社 发明人 小金井昭雄;诸田孝光
分类号 H01L51/10(2006.01);H01L51/40(2006.01);H05B33/26(2006.01) 主分类号 H01L51/10(2006.01)
代理机构 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 代理人 王永刚
主权项 1.一种有机薄膜晶体管,包括:有机衬底;栅电极;栅绝缘膜;有机半导体膜;源电极;以及漏电极,其中与栅绝缘膜接触的栅电极平均表面粗糙度Ra为0.1-15nm。
地址 日本东京