发明名称 光电二极管阵列及其制造方法和放射线检测器
摘要 光电二极管阵列(1)包括n型硅基板(3)。在n型硅基板(3)的被检测光(L)的入射面的相反面一侧,以阵列状形成有多个光电二极管(4)。在n型硅基板(3)的被检测光(L)的入射面一侧的、未与形成有光电二极管(4)的区域对应的区域上,设置有具有规定高度的间隔层(6)。
申请公布号 CN1768428A 申请公布日期 2006.05.03
申请号 CN200480008446.3 申请日期 2004.03.25
申请人 浜松光子学株式会社 发明人 柴山胜己
分类号 H01L27/146(2006.01);H01L31/10(2006.01);G01T1/20(2006.01) 主分类号 H01L27/146(2006.01)
代理机构 北京纪凯知识产权代理有限公司 代理人 龙淳
主权项 1.一种光电二极管阵列,其特征在于:包括半导体基板,在所述半导体基板中的被检测光的入射面的相反面一侧,以阵列状形成有多个光电二极管,在所述半导体基板的被检测光的所述入射面一侧的、不与形成有所述光电二极管的区域对应的区域上,设置有具有规定高度的突出部。
地址 日本国静冈县