发明名称 METHOD OF PRODUCING DIELECTRIC ISOLATION FOR MONOLITHIC CIRCUIT
摘要
申请公布号 US3579391(A) 申请公布日期 1971.05.18
申请号 USD3579391 申请日期 1967.01.05
申请人 TRW INC. 发明人 JAMES LANG BUIE
分类号 H01L21/316;H01L21/762;H01L21/8222;(IPC1-7):H01L7/36 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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