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发明名称 METHOD OF FORMING PATTERN IN SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR20060038023(A) 申请公布日期 2006.05.03
申请号 KR20040087146 申请日期 2004.10.29
申请人 HYNIX SEMICONDUCTOR INC. 发明人 HWANG, SUNG MIN
分类号 H01L21/027 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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