| 发明名称 | 用于制作显示装置的设备 | ||
| 摘要 | 本发明揭示一种用于形成一薄膜的设备，所述设备包括：一室；所述室内的一接受器；所述接受器上的一气体喷射器，所述气体喷射器具有复数个喷射孔；一连接至所述气体喷射器的轴，所述轴具有一连接至所述复数个喷射孔的流动路径；及一蒸发源材料并向所述气体喷射器供应所蒸发的源材料的蒸发源。 | ||
| 申请公布号 | CN1766157A | 申请公布日期 | 2006.05.03 |
| 申请号 | CN200510109576.2 | 申请日期 | 2005.10.26 |
| 申请人 | 周星工程股份有限公司 | 发明人 | 金宰湖 |
| 分类号 | C23C14/24(2006.01);C23C14/12(2006.01) | 主分类号 | C23C14/24(2006.01) |
| 代理机构 | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 王允方;刘国伟 |
| 主权项 | 1、一种用于形成一薄膜的设备，其包括：一室；所述室内的一接受器；所述接受器上方的一气体喷射器，所述气体喷射器具有复数个喷射孔；一连接至所述气体喷射器的轴，所述轴具有一连接至所述复数个喷射孔的流动路径；及，一蒸发源材料并向所述气体喷射器供应所蒸发的源材料的蒸发源。 | ||
| 地址 | 韩国京畿道 | ||