在电浆处理中用以决定正确之平均偏压补偿电压的方法

摘要

本发明提供一种基板之移除方法，此基板系藉由一双极ESC电压之施加而装设至一双极静电夹头(ESC)，此方法包含以下步骤：在处理一目前基板之后中断双极ESC电压，以及决定处理之一单极元件误差。此方法亦包含为一后续基板修正单极元件误差之步骤。