自我组装之金属与碳交替之奈米层状薄膜及其制造方法

摘要

本发明系关于一种利用单一金属沈积出金属与碳交替层状薄膜之方法，其系利用真空反应式磁控溅镀技术，以单一金属靶材为金属源，配合连续通入之反应气体中的碳氢化合物作为碳源，沈积出金属与碳的交替层状结构。本发明不需提供基板热源及偏压，即可使奈米级奈米富碳层与奈米级奈米富金属层以具有可控制之周期性自我组装交替层叠。