用于支撑基材之方法及设备

摘要

一种基板支撑方法和装置包括垂直调准升降顶针(lift pin)，该升降顶针具有支撑面，该支撑面在基板举起过程中啮合摩擦板和／或磁场来保持该升降顶针的垂直定向。在一些实施例中，磁场和／或加重可交换地或附加地用来控制该等升降顶针的垂直定向，限制该等升降顶针的角度，和／或在该承载件上升时阻止该升降顶针被意外地黏合在该承载件中，并阻止产生对该基板之不均匀支撑。