双通型光谱量测装置及其极化相关性之消除方法

摘要

本发明之双通型光谱量测装置包含一可产生一光束之光源、一可准直该光束之第一镜片、一设置于该光源与该第一镜片间之双向光束分离元件、一可将该光束分离成不同波长之子光束之波长分离元件、一设置于该子光束之光路上的极化相位延迟元件、一可将该子光束反射至该极化相位延迟元件之光束反射元件以及一光侦测器。该极化相位延迟元件可为一消色差1／4相位延迟波片或1／4相位延迟波片。该子光束通过该极化相位延迟元件两次导致其极化方向旋转90度，因而分别以水平极化方向及垂直极化方向通过该波长分离元件各一次，以消除极化相关性。