发明名称 VAPOR PHASE DEPOSITION OF METAL FROM A METAL-ORGANIC BETA-KETOAMINE CHELATE
摘要
申请公布号 US3594216(A) 申请公布日期 1971.07.20
申请号 USD3594216 申请日期 1969.06.19
申请人 WESTINGHOUSE ELECTRIC CORP. 发明人 ROBERT G. CHARLES;JAMES G. CLEARY
分类号 C23C16/18;(IPC1-7):C23C11/02 主分类号 C23C16/18
代理机构 代理人
主权项
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