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发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR MEASURING BANDWIDTH OF AN OPTICAL SPECTRUM OUTPUT OF A VERY SMALL WAVELENGTH VERY NARROW BANDWIDTH HIGH POWER LASER
摘要
申请公布号 EP1649243(A2) 申请公布日期 2006.04.26
申请号 EP20040776917 申请日期 2004.06.14
申请人 CYMER, INC. 发明人 RAFAC, ROBERT, J.
分类号 G02B9/02;G01J1/42;G01J3/02;G01J3/28;G01J3/45;G01J9/00;H01S3/13;H01S3/225;(IPC1-7):G01B9/02 主分类号 G02B9/02
代理机构 代理人
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