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发明名称
APPARATUS FOR MEASURING TEMPERATURE IN EQUIPMENT FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR AND DIFFUSING APPARATUS USING THE SAME
摘要
申请公布号
KR20060034045(A)
申请公布日期
2006.04.21
申请号
KR20040083174
申请日期
2004.10.18
申请人
SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD.
发明人
KIM, IN SIK
分类号
H01L21/22
主分类号
H01L21/22
代理机构
代理人
主权项
地址
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