发明名称 Waferhalter für eine Ionenimplantationsvorrichtung
摘要
申请公布号 DE69929865(D1) 申请公布日期 2006.04.20
申请号 DE19996029865 申请日期 1999.12.20
申请人 APPLIED MATERIALS, INC.;SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD. 发明人 MIURA, RYUICHI;TOMARU, KAZUHIKO;YONEYAMA, TSUTOMU;HANDA, RYUICHI
分类号 H01J37/20;H01L21/265;H01J37/317;H01L21/673 主分类号 H01J37/20
代理机构 代理人
主权项
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