| 摘要 |
Ein Wire Bonder enthält einen Bondkopf (1) und eine auf dem Bondkopf (1) angeordnete Wippe (8), die um eine horizontale Achse drehbar ist. An der Wippe (8) ist ein mit einem Flansch (18) versehenes Horn (9) befestigt, in dem eine Kapillare (10) eingespannt ist. Am Bondkopf (1) ist mindestens ein Sensor (22) befestigt, der Schwingungen des Bondkopfs (1) detektiert und zwischen dem Flansch (18) und der Wippe (8) ist mindestens ein Aktuator (13; 14; 15) angeordnet, der eine Bewegung des Horns (9) relativ zur Wippe (8) ermöglicht. Eine Steuereinrichtung (26) berechnet aus einem von dem mindestens einen Sensor (22) gelieferten Ausgangssignal ein Steuersignal für den mindestens einen Aktuator (13; 14; 15) und steuert den mindestens einen Aktuator (13; 14; 15) an, um Schwingungen des Horns (9) zu eliminieren oder mindestens zu reduzieren. Der mindestens eine Sensor (22) ist bevorzugt auf der Wippe (8) angeordnet und ist bevorzugt ein Beschleunigungssensor. |
