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发明名称
摘要
申请公布号 JP3768656(B2) 申请公布日期 2006.04.19
申请号 JP19970253248 申请日期 1997.09.18
申请人 发明人
分类号 H01L21/8222;H01L21/761;H01L21/8249;H01L27/06;H01L29/732 主分类号 H01L21/8222
代理机构 代理人
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