发明名称 |
半导体器件 |
摘要 |
提供了一种具有高度可靠性的半导体器件,其中配置了针对电路功能而具有适当结构的TFT。驱动TFT的栅绝缘膜(115)和(116)设计得比半导体器件中的像素TFT的栅绝缘膜(117)薄,半导体器件在同一衬底上具有驱动电路和像素单元。另外,驱动TFT的栅绝缘膜(115)和(116)和存储电容介质(118)是同时制作的,这样,介质(118)可以非常薄,可以获得大电容量。 |
申请公布号 |
CN1252816C |
申请公布日期 |
2006.04.19 |
申请号 |
CN00101038.7 |
申请日期 |
2000.01.11 |
申请人 |
株式会社半导体能源研究所 |
发明人 |
山崎舜平;小山润;柴田宽;福永健司 |
分类号 |
H01L27/00(2006.01);H01L21/00(2006.01) |
主分类号 |
H01L27/00(2006.01) |
代理机构 |
中国专利代理(香港)有限公司 |
代理人 |
梁永;张志醒 |
主权项 |
1.在同一衬底上具有驱动电路单元和像素单元的半导体器件,其中:所述驱动电路单元的驱动TFT,和所述像素单元的像素TFT,各自具有膜厚相互不同的栅绝缘膜;和制作在所述像素单元中的存储电容器的介质的膜厚度与所述驱动TFT的栅绝缘膜厚度相同。 |
地址 |
日本神奈川县 |