发明名称 半导体器件
摘要 提供了一种具有高度可靠性的半导体器件,其中配置了针对电路功能而具有适当结构的TFT。驱动TFT的栅绝缘膜(115)和(116)设计得比半导体器件中的像素TFT的栅绝缘膜(117)薄,半导体器件在同一衬底上具有驱动电路和像素单元。另外,驱动TFT的栅绝缘膜(115)和(116)和存储电容介质(118)是同时制作的,这样,介质(118)可以非常薄,可以获得大电容量。
申请公布号 CN1252816C 申请公布日期 2006.04.19
申请号 CN00101038.7 申请日期 2000.01.11
申请人 株式会社半导体能源研究所 发明人 山崎舜平;小山润;柴田宽;福永健司
分类号 H01L27/00(2006.01);H01L21/00(2006.01) 主分类号 H01L27/00(2006.01)
代理机构 中国专利代理(香港)有限公司 代理人 梁永;张志醒
主权项 1.在同一衬底上具有驱动电路单元和像素单元的半导体器件,其中:所述驱动电路单元的驱动TFT,和所述像素单元的像素TFT,各自具有膜厚相互不同的栅绝缘膜;和制作在所述像素单元中的存储电容器的介质的膜厚度与所述驱动TFT的栅绝缘膜厚度相同。
地址 日本神奈川县