| 发明名称 | 表面压力分布传感器 | ||
| 摘要 | 本发明的目的在于提供特别是能够减小内部压力的变化、并使测定的灵敏度比以往提高的表面压力分布传感器。在测定部(E)的侧方设有流体积存部(30)，将前述流体积存部(30)的内部空间(G)和前述测定部(E)的内部空间(H)相连。因而当按压测定面(I)上、前述测定部(E)的内部空间(H)被压缩时，由于流体也可以向前述流体积存部(30)的方向溢出，因此前述测定部(E)的内部空间(H)的压力上升与以往相比变小，与以往相比，相对于前述测定部(E)的上部基板(23)的推起力变弱。其结果，可以使测定灵敏度比以往提高。 | ||
| 申请公布号 | CN1760891A | 申请公布日期 | 2006.04.19 |
| 申请号 | CN200510113801.X | 申请日期 | 2005.10.12 |
| 申请人 | 阿尔卑斯电气株式会社 | 发明人 | 奥田伸幸 |
| 分类号 | G06K9/00(2006.01) | 主分类号 | G06K9/00(2006.01) |
| 代理机构 | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人 | 黄剑锋 |
| 主权项 | 1.一种表面压力分布传感器，其特征在于，其具有：下部基板、在前述下部基板的上表面被并列地排列的多个下部导体、在前述下部基板上具有预定的间隔而设置的可挠性的上部基板、和在前述上部基板的下表面向与前述下部导体正交的方向被并列地排列的多个上部导体；测定部被设在前述上部导体和下部导体在膜厚方向上相对并且内部成为空间的区域，通过前述测定部，根据因前述上部基板上的测定面被按压而变化的静电电容来检测表面压力的分布，在前述测定部的侧方设有内部成为空间的流体积存部，前述流体积存部的内部空间和前述测定部的内部空间相连。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||