非一致性型态辨别系统及方法

摘要

本发明涉及一种非一致性型态辨别系统及方法。一个储存装置用以储存多个理论型态及量测值，而每一量测值关联于一片晶圆上的一个区域。处理单元取得理论型态以及至少两片晶圆上的量测值，根据量测值计算每一片晶圆的每一个理论型态的一个型态分数，依据产生的型态分数群聚至少两个以上的理论型态至一个因素中用以定义晶圆的非一致性型态。每一型态分数代表理论型态与晶圆中之一的量测值间的相似程度。本发明所述非一致性型态辨别系统及方法，不仅提高效率，更提供一个更有效益及可靠的结果。

主权项

1、一种非一致性型态辨别系统，上述非一致性型态辨别系统包括：一个储存装置，用以储存多个理论型态及多个量测值，其中每一上述量测值关联于一片晶圆上的一个区域；以及一个处理单元用以取得上述理论型态以及至少两片晶圆上的上述量测值，根据上述量测值计算每一片上述晶圆的每一个上述理论型态的一个型态分数，其中每一个上述型态分数代表上述理论型态与上述晶圆中之一的上述量测值间的相似程度，依据产生的上述型态分数群聚至少两个的上述理论型态至一个因素中用以定义上述晶圆的非一致性型态。