| 发明名称 |
Method and apparatus to measure fiber optic pickup errors in interferometry systems |
| 摘要 |
Methods and apparatus for characterizing and compensating non-cyclic errors in fiber optic pickups in interferometry systems are disclosed.
|
| 申请公布号 |
US7030994(B2) |
申请公布日期 |
2006.04.18 |
| 申请号 |
US20030366676 |
申请日期 |
2003.02.12 |
| 申请人 |
ZYGO CORPORATION |
发明人 |
HILL HENRY A. |
| 分类号 |
G01B9/02;G01B11/00;G03F7/20;H01L21/027 |
主分类号 |
G01B9/02 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
