发明名称 Method For Forming Intermetal Dielectric Film Of Semiconductor Devices
摘要
申请公布号 KR100571674(B1) 申请公布日期 2006.04.17
申请号 KR20030055646 申请日期 2003.08.12
申请人 发明人
分类号 H01L21/31 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
主权项
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