多层电极电容之制造方法

摘要

一种具有多层电极结构之电容。系在半导体基材或绝缘层中产生一沟渠。在此沟渠内形成两组导电层。第一组导电层之各层均电性连通，第二组导电层之各层间电性连通，且第一组与第二组之各导电层相互穿插排列，并在每一导电层之间均有一介电层而形成多电极之电容结构。