发明名称 Verfahren zum Herstellen einer Halbleitervorrichtung
摘要
申请公布号 CH519787(A) 申请公布日期 1972.02.29
申请号 CH19680006133 申请日期 1968.04.25
申请人 N. V. PHILIPS' GLOEILAMPENFABRIEKEN 发明人 CORNELIS EVERSTEJN,FRANCISCUS;LEONARDUS PEEK,HERMANUS
分类号 C23C16/40;H01L21/225;H01L21/316;(IPC1-7):H01L7/32;C23C11/08 主分类号 C23C16/40
代理机构 代理人
主权项
地址