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发明名称 Verfahren und Vorrichtung zum anodischen Oxydieren kleiner Flaechen aus Ventilmetall auf Duennschicht-Schaltkreisen
摘要
申请公布号 DE1771703(A1) 申请公布日期 1972.03.09
申请号 DE19671771703 申请日期 1967.06.27
申请人 SIEMENS AG 发明人 JUERGENS,WILFRIED,DIPL.-PHYS.;SCHELLNAST,WALTER
分类号 C25D11/26;H01L49/02 主分类号 C25D11/26
代理机构 代理人
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