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发明名称 Verfahren zur Herstellung einer aus mehreren Lagen zusammengesetzten duennen Schicht durch Hochvakuumbedampfung
摘要
申请公布号 DE1225939(B) 申请公布日期 1966.09.29
申请号 DE1963L046364 申请日期 1963.11.16
申请人 LEYBOLD-HOCHVAKUUM-ANLAGEN G.M.B.H. 发明人 MOLL DR. JUSTUS
分类号 C23C14/02;C23C14/10 主分类号 C23C14/02
代理机构 代理人
主权项
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