| 发明名称 | 测量半导体器件的传输特性的方法和设备 | ||
| 摘要 | 一种测量多个半导体器件的交流(AC)和直流(DC)特性的方法和设备。环形振荡器产生脉冲以驱动多个待测半导体器件。仅使用DC输入/输出就能够测量多个半导体器件的电流/电压(IV)和传输特性。 | ||
| 申请公布号 | CN1758064A | 申请公布日期 | 2006.04.12 |
| 申请号 | CN200510097849.6 | 申请日期 | 2005.08.30 |
| 申请人 | 国际商业机器公司 | 发明人 | 曼朱尔·布善;马克·B.·科特臣 |
| 分类号 | G01R31/26(2006.01);G01R31/00(2006.01);H01L21/66(2006.01) | 主分类号 | G01R31/26(2006.01) |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人 | 王永刚 |
| 主权项 | 1.一种测试多个半导体器件的方法，该方法包括：顺序地产生不重叠的脉冲的连续序列；使用所述脉冲驱动所述多个半导体器件；和仅使用直流输入与直流输出，测量所述多个半导体器件的传输特性。 | ||
| 地址 | 美国纽约 | ||