不使用金属底漆层制造银基低发射率涂层的方法和设备以及用其制造的制品

摘要

在底材上沉积含红外反射，例如含银的多层涂层，形成涂布制品的方法。使用一种或多种陶瓷阴极在银层上沉积保护层。使用陶瓷阴极消除了现有技术常用的金属底漆层。红外反射层和陶瓷层都可以沉积在同一的涂布区中，这一涂布区含足够量的氧，以提供基本上氧化的陶瓷涂层，而没有对红外反射层的性质产生不利的影响。

主权项

1.一种形成涂布制品的方法，包括如下步骤：在底材上溅射沉积金属层；以及在受控气氛下溅射导电陶瓷阴极，以在金属层上沉积定义为陶瓷层的金属掺杂的金属氧化物层。