发明名称 ATMOSPHERIC PRESSURE PLASMA APPARATUS USED IN ETCHING OF AN SUBSTRATE
摘要
申请公布号 KR20060031468(A) 申请公布日期 2006.04.12
申请号 KR20040080514 申请日期 2004.10.08
申请人 SEMES CO., LTD. 发明人 KIM, IN JUN;CHO, JUNG KEUN
分类号 H01L21/3065 主分类号 H01L21/3065
代理机构 代理人
主权项
地址