| 发明名称 | 平版印刷投影装置 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种平版印刷装置，尤其是使用空间光调制器(5)的平版印刷装置，其中投射系统(PL)包括一个装置(10)用于将图案光束(4)分离成图案光束部分(12，15)并将其投射到基片(27)的各个靶部(25，26)上。 | ||
| 申请公布号 | CN1251026C | 申请公布日期 | 2006.04.12 |
| 申请号 | CN02128184.X | 申请日期 | 2002.12.27 |
| 申请人 | ASML荷兰有限公司 | 发明人 | J·C·H·穆尔肯斯;A·J·布利克尔 |
| 分类号 | G03F7/20(2006.01);H01L21/027(2006.01) | 主分类号 | G03F7/20(2006.01) |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人 | 章社杲 |
| 主权项 | 1.一种平版印刷投影装置，包括：一个设置成用于提供投射光束的辐射系统；设置成根据所需图案用于投射光束形成图案的程控图案形成装置；用于支撑基片的基片台；用于将图案的光束投射到基片靶部上的投射系统；其中投射系统包括：用于将图案光束分离形成多个图案光束部分的分离装置；第一装置，用于在基片的第一靶部上投射图案光束的第一部分；和第二装置，用于在基片的第二靶部上投射图案光束的第二部分；其特征在于，在所述分离装置中，图案光束通过第一光束分离器首先分离为第一和第二图案光束部分，第一图案光束部分通过一反射镜反射并且最终投射到基片上，而第二图案光束部分至少部分地通过第二光束分离器反射到另一反射镜上并且最终投射到基片上。 | ||
| 地址 | 荷兰维尔德霍芬 | ||