发明名称 |
带有薄片支承板和温控系统的薄片处理装置 |
摘要 |
一种薄片处理装置,其包括具有至少一个内部流体空腔的薄片支承板(14);以及温控系统(30),其包括温度控制器(31)和用于使温控液体循环通过所述空腔和通过所述温度控制器(31)的封闭循环系统,该循环系统包括用于至少部分地吸收液体的膨胀和收缩的膨胀装置,其特征在于,膨胀装置包括至少一条软管(32),其将该空腔和温度控制器(31)相连起来并且适于柔性地膨胀和收缩。 |
申请公布号 |
CN1757519A |
申请公布日期 |
2006.04.12 |
申请号 |
CN200510108532.8 |
申请日期 |
2005.09.30 |
申请人 |
奥西-技术有限公司 |
发明人 |
P·G·M·克鲁伊特 |
分类号 |
B41J13/00(2006.01);B41J11/00(2006.01) |
主分类号 |
B41J13/00(2006.01) |
代理机构 |
中国专利代理(香港)有限公司 |
代理人 |
赵辛 |
主权项 |
1.一种薄片处理装置,其包括具有至少一个内部流体空腔(34)的薄片支承板(14);以及温控系统(30),其包括温度控制器(31)和用于使温控液体循环通过所述空腔(34)和通过所述温度控制器(31)的封闭循环系统,所述循环系统包括用于至少部分地吸收所述液体的膨胀和收缩的膨胀装置,其特征在于,所述膨胀装置包括至少一条软管(32),其将所述空腔(34)和所述温度控制器(31)相连起来,并且适于柔性地膨胀和收缩。 |
地址 |
荷兰芬洛 |