发明名称 METHOD OF MANUFACTURING OPTICAL DEVICES AND RELATED IMPROVEMENTS
摘要
申请公布号 EP1364392(B1) 申请公布日期 2006.04.12
申请号 EP20020716203 申请日期 2002.02.01
申请人 THE UNIVERSITY COURT OF THE UNIVERSITY OF GLASGOW 发明人 MARSH, JOHN, HAIG;MCDOUGALL, STEWART, DUNCAN;HAMILTON, CRAIG, JAMES;KOWALSKI, OLEK, PETER
分类号 H01L21/18;H01S5/343;H01L25/00;H01L31/18;H01L33/04;H01S5/026;H01S5/20;H01S5/34 主分类号 H01L21/18
代理机构 代理人
主权项
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