根据状态估算结果调整采样率的方法

摘要

一种用于根据状态估算结果调整采样率的方法与装置(120)。该方法包括接收有关于处理工件的测量数据，根据该测量数据的至少一部份估算下个处理状态，并且决定有关于该估算的下个处理状态的错误值。该方法还包括根据估算的下个处理状态而处理多个工件，以及根据该决定的错误值调整该待测量的经处理工件的采样协议。

主权项

1.一种方法，包括：接收有关于一个或更多个先前经处理的工件的测量数据；根据该测量数据的至少一部份估算下个处理状态；决定有关于该估算的下个处理状态的错误值；根据该估算的下个处理状态处理多个工件；以及根据该决定的错误值调整该等经处理工件所欲测量的采样协议。