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发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR GROWING A GROUP (III) METAL NITRIDEFILM AND A GROUP (III) METAL NITRIDE FILM
摘要
申请公布号 CA2581626(A1) 申请公布日期 2006.04.06
申请号 CA20052581626 申请日期 2005.09.27
申请人 GALLIUM ENTERPRISES PTY LTD 发明人 WINTREBERT EP FOUQUET, MARIE-PIERRE FRANCOISE;BUTCHER, KENNETH SCOTT ALEXANDER;CHEN, PATRICK PO-TSANG;JOHNSON, DAVID IAN;TEN HAVE, JOHN LEO PAUL
分类号 C23C16/34;H01L21/205 主分类号 C23C16/34
代理机构 代理人
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