发明名称 Fabrication of semiconductor devices
摘要
申请公布号 US3279963(A) 申请公布日期 1966.10.18
申请号 US19630297026 申请日期 1963.07.23
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 CASTRUCCI PAUL P.;FOLSOM ROBERT M.;PIECZONKA WALDEMAR A.
分类号 H01L21/225;H01L29/00 主分类号 H01L21/225
代理机构 代理人
主权项
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