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发明名称
摘要
申请公布号
JP3762601(B2)
申请公布日期
2006.04.05
申请号
JP20000007780
申请日期
2000.01.17
申请人
发明人
分类号
H01J37/20;G01N1/28;H01L21/66
主分类号
H01J37/20
代理机构
代理人
主权项
地址
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