发明名称
摘要
申请公布号 JP3762601(B2) 申请公布日期 2006.04.05
申请号 JP20000007780 申请日期 2000.01.17
申请人 发明人
分类号 H01J37/20;G01N1/28;H01L21/66 主分类号 H01J37/20
代理机构 代理人
主权项
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