曲状狭缝阀门

摘要

提供了用于密封腔室中的一基片转移通道的装置的实施例。在一个实施例中，用于密封腔室中的基片转移通道的装置包括一个细长的门构件，该门构件具有一凸出的密封面和一背面。在另一个实施例中，提供了一种具有用于密封基片转移通道的装置的腔室，该腔室包括：一个具有内部容积的腔室主体；至少一个被确定为穿过腔室主体的基片进出口，它被构造成允许大面积的基片穿过其中；以及一个门构件，该门构件具有一个凸出的密封面，它可以在覆盖基片转移开口的一第一位置和越过基片转移开口的第二位置之间移动。在又一个实施例中，腔室主体可以是一个载荷锁定腔室。

主权项

1.一种用于密封一腔室内的一基片转移通道的装置，它包括：一个具有一凸起的密封面和一背面的细长门构件。