流量传感器

摘要

一种流量传感器，是在单晶硅基板上形成薄膜部并在该薄膜部上形成多晶硅的感应电阻器的流量传感器；通常，在薄膜部变化时，电阻值发生变化。因该电阻值变化会导致流量传感器的输出异常。尤其是由于输出异常容易发生在低流量区域，所以作为降低燃料消耗的目的，在发动机进行低怠速化时，上述输出异常就成为问题。因此，为了解决上述的问题，本发明通过将形成在薄膜部的温感电阻器的图案的长方向和短方向的关系设成最佳的构成，使得即使薄膜部变形而导致温感电阻器的电阻值发生变化，流量传感器的输出也难以变化。

主权项

1.一种流量传感器，其特征在于，具有：形成在基板的薄膜部上的加热电阻、和设置在所述基板的薄膜部上的所述加热电阻的两侧、构成电桥电路的多个温感电阻器，所述多个温感电阻器的图案被构成为，对于所述薄膜部发生的应变，所述多个温感电阻器呈大致相等的电阻变化。