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发明名称
ROTATING TUBULAR SPUTTER TARGET ASSEMBLY
摘要
申请公布号
EP1641956(A1)
申请公布日期
2006.04.05
申请号
EP20040741896
申请日期
2004.06.25
申请人
BEKAERT ADVANCED COATINGS
发明人
CNOCKAERT, DIRK;DE BOSSCHER, WILMERT
分类号
C23C14/34;H01J37/34;(IPC1-7):C23C14/34
主分类号
C23C14/34
代理机构
代理人
主权项
地址
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