发明名称 ROTATING TUBULAR SPUTTER TARGET ASSEMBLY
摘要
申请公布号 EP1641956(A1) 申请公布日期 2006.04.05
申请号 EP20040741896 申请日期 2004.06.25
申请人 BEKAERT ADVANCED COATINGS 发明人 CNOCKAERT, DIRK;DE BOSSCHER, WILMERT
分类号 C23C14/34;H01J37/34;(IPC1-7):C23C14/34 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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