发明名称 |
表面压力分布传感器 |
摘要 |
一种表面压力分布传感器,该表面压力分布传感器(10),具有:通过垫片(18)分开一定间隔的间隙对向配置的行配线部(11)和列配线部(12)。行配线部(11),由玻璃基板(13)、沿第1方向平行排列配置在该玻璃基板(13)上的多个行配线(14)和覆盖该行配线(14)的绝缘膜(15)构成。列配线部(12),由可挠性薄膜(16)和沿第2方向平行排列配置在该可挠性薄膜(16)上的多个列配线(17)构成。这种表面压力分布传感器,能长期稳定地准确检测表面压力分布,且能以简单构成低成本制造。 |
申请公布号 |
CN1249415C |
申请公布日期 |
2006.04.05 |
申请号 |
CN200410033380.5 |
申请日期 |
2004.04.07 |
申请人 |
阿尔卑斯电气株式会社 |
发明人 |
川畑贤 |
分类号 |
G01L5/00(2006.01);H01L29/84(2006.01);A61B5/117(2006.01) |
主分类号 |
G01L5/00(2006.01) |
代理机构 |
中科专利商标代理有限责任公司 |
代理人 |
李香兰 |
主权项 |
1.一种表面压力分布传感器,具有:多个导体并列且向第1方向延伸的行配线、多个导体并列且向与上述第1方向交叉的第2方向延伸的列配线、和表面分别形成上述行配线及上述列配线的基板,其特征在于:上述基板的至少一方由可挠性薄膜基板构成,根据上述行配线及上述列配线的交叉部的静电电容的变化来检测表面压力的分布,上述基板由单一的可挠性薄膜基板构成,在上述可挠性薄膜基板上形成上述行配线及上述列配线,并通过在规定位置弯折上述可挠性薄膜基板,而使上述行配线及上述列配线相交叉。 |
地址 |
日本东京都 |